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发布日期:2025-11-09 11:11 点击次数:132

IT之家 10 月 16 日音信,半导体缔造巨头 ASML 在当地技术 15 日晓示 2025Q3 财报的同期示意,其达成了企业首款业绩于先进封装的家具 —— TWINSCAN XT:260 光刻机的出货。

XT:260 是一款接收 i 线光源的图案化缔造,远隔率为 400nm,通过相场和剂量上的立异领有此前机台 4 倍的分娩后果,在 340mJ 剂量下每小时可经管 270 片晶圆,将为 ASML 客户在 3D 集成界限的需求提供营救。
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