IT之家 10 月 16 日音信，半导体缔造巨头 ASML 在当地技术 15 日晓示 2025Q3 财报的同期示意，其达成了企业首款业绩于先进封装的家具 —— TWINSCAN XT:260 光刻机的出货。

XT:260 是一款接收 i 线光源的图案化缔造，远隔率为 400nm，通过相场和剂量上的立异领有此前机台 4 倍的分娩后果，在 340mJ 剂量下每小时可经管 270 片晶圆，将为 ASML 客户在 3D 集成界限的需求提供营救。

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《尼康推出其首款后端光刻机 DSP-100，营救 600×600 大尺寸 FOPLP 先进封装》

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